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MEMS冲击传感器
BCSS系列硅MEMS冲击开关
  • 产品简介:BCSS系列硅微机械冲击开关是无锁定单刀单置开关,其开关状态由敏感轴向的加速度幅值确定。开关采用微机械加工技术制作,器件由三层单晶硅组成,采用硅深刻蚀技术和金属淀积技术制作,具有精确到微米量级的位移行程。